關(guān)于濺射靶材和蒸發(fā)材料的正確程序處理，這里僅需提及幾件事。大多數(shù)沉積材料相當(dāng)堅(jiān)固，但根據(jù)特定的組成或化學(xué)計(jì)量，某些材料可能會(huì)非常脆弱，某些材料可能會(huì)很脆，而某些材料可能會(huì)非常有毒。首先，強(qiáng)烈建議所有與處理任何特定材料有關(guān)的人員首先閱讀，然后按照與任何給定成分相關(guān)的“材料安全數(shù)據(jù)表”或“表”中列出的安全程序進(jìn)行操作。

將大多數(shù)產(chǎn)品包裝在真空密封的聚丙烯包裝盒中。這防止了水分和/或空氣可能污染產(chǎn)品或與產(chǎn)品發(fā)生反應(yīng)。從該保護(hù)性外層打開產(chǎn)品后，應(yīng)使用某種形式的防護(hù)手套（乳膠，棉布，無絨等）來處理該材料，以防止該材料與手部的水分反應(yīng)并保護(hù)操作人員身體上的傷害或反應(yīng)。如果使用的材料有毒，如有必要，戴上呼吸面罩或面罩。

如果材料是與空氣（氧氣，氮?dú)?，氫氣，水蒸氣等）接觸時(shí)容易分解或分解的東西，請(qǐng)確保從到達(dá)目標(biāo)到準(zhǔn)備就緒為止，將目標(biāo)存儲(chǔ)在真空干燥器或受控的環(huán)境中。裝入室內(nèi)使用。當(dāng)與環(huán)境發(fā)生反應(yīng)時(shí)，由于膨脹/收縮作用，許多陶瓷或粉末冶金產(chǎn)品材料會(huì)簡(jiǎn)單地粉碎成離解的粉末或裂紋。

在沉積過程中使用后，出于操作安全的考慮，也應(yīng)格外小心地處理這種高反應(yīng)性產(chǎn)品，并防止對(duì)靶材本身造成任何可能的損壞。根據(jù)所用材料的具體成分，建議在沉積過程后用惰性氣體回填腔室，該惰性氣體將保護(hù)靶材的表面并在沉積腔室的各個(gè)表面上提供保護(hù)層。其他相關(guān)的反應(yīng)性表面。同樣，在通過防護(hù)服（手套，口罩，呼吸系統(tǒng)等）打開腔室后，應(yīng)小心保護(hù)操作人員和目標(biāo)材料，并立即將用過的目標(biāo)物放回非反應(yīng)性環(huán)境中，直到再次需要供將來使用。